Розанов Л. Н.
Вакуумная техника: Учебник для вузов. — М.: Высш. школа, 1982.—207 с., ил.
В книге даны основные представления о физике вакуума; рассмотрены процессы переноса при низких давлениях, сорбционные процессы, течение газов по трубопроводам; обсуждены принципы действия основных типов вакуумных насосов, их характеристики и возможности использования в различных системах откачки; .описаны способы измерения вакуума, анализ парциальных давлений, течеискание; приведены типовые схемы вакуумных машин и установок, дан общий порядок расчета и проектирования вакуумных систем.
Предназначается для студентов специальности «Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение».
Для заказа книги или определенных ее разделов в электронном виде просьба обращаться только на адрес электронной почты vacuumsplav@yandex.ru
